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精準溫溼度控制於半導體製程環境與化學品

  1. 半導體主設備_製程腔體_溫溼度控制
    LIT、TFE、ETC、CMP

  1. 半導體主設備_chemical dispense溫度控制
    LIT、CMP

  1. 半導體主設備__製程腔體_ AMC, ESD & particle control

  2. FI load port_air curtain_ particle control

  3. HOT DI supply unit

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半導體廢氣處理、 De-NOx 

  1. 半導體廢氣處理
    Thermal wet, high temp. thermal wet, wet type, adsorption type

  2. De-NOx

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AMC Filter & Re-gen Service

  1. AMC Filter

  2. AMC Filter  Re-gen Service

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無塵室潔淨及特殊規格整合方案

  1. 無塵室整合統包工程

  2. 特殊規格整合無塵室實驗室方案
    ESD、EMI、micro-vibration, …… 等

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智能中央監控、AI/大數據分析與ESG整合報表

a.     智能中央監控

b.      AI與大數據分析

c.      ESG整合報表

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  • 半導體其他生產支援設備

    a.     半導體庫房省力裝置

    b.     半導體廠用籠車、設備櫃 、推車、Fan cart

    c.     防火/防爆櫃

    d.     Plumbing line清管輔助及安全設備

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  • 半導體主設備及附屬設備零組件

    半導體主設備及附屬設備零組件

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