應用領域
精準溫溼度控制於半導體製程環境與化學品
半導體廢氣處理、 De-NOx
AMC Filter & Re-gen Service
無塵室潔淨及特殊規格整合方案
智能中央監控、AI/大數據分析與ESG整合報表
半導體其他生產支援設備
半導體主設備及附屬設備零組件
永續、潔淨的半導體生產技術未來
提供半導體先進製程，嚴苛的溫濕度、AMC、潔淨度控制的環境整合方案下。同時為製程產生的廢氣處理、NOx 消除等，提供完整解決方案。以及整合智能中央監控系統、大數據分析、並產生ESG整合報表
我們優勢
發展先進半導體設備附屬技術與產品，並以深厚的技術為核心，結合 AIoT
致力成為各場域的解決方案商。同時透過豐富的產業經驗、創新能力
與企業永續構築差異化優勢
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申請專利
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服務與產品
01
Local Chiller
冰水機/熱交換器
高感度溫控開關,精確控制製程加工液所需的溫度(精度±0.5℃)。
採用知名品牌壓縮機及循環水泵,低噪音、高E.E.R值,省電效率高。
採用全數位P.I.D.分段式控溫系統，在任何操作狀態下均可維持穩定
02
Local Scrubber
WTW-1000型，可進行TLV 以下的 SiH4 和其他鹵化物的高效處理
並具備安全地處理99.5%以上的PFCs氣體,極低NOx、低CO排放的廢氣處理設備。
透過各種材質的腐蝕性及副產物研究對策，實現了和以往產品相比3倍以上的維修間隔，更有效降低能源消耗控制成本
適用於製造半導體・液晶面板・太陽能電池・LED等電子零件，亦適用於化學・材料製造和各種研究室等。
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